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台积电大规模购买EUV光刻机 以提高产能保持业界

   台积电作为全球领先的半导体厂商,现在有外媒报道称其正在大规模购买EUV光刻机,以此来保持其在业界的领先地位。

  根据TOMSHARDWARE报道,台积电表示其部署的极紫外光(EUV)光刻工具已占全球安装和运行总量的50%左右,这意味着其使用的EUV机器数量超过了业内其他任何一家公司。 

台积电大规模购买EUV光刻机 以提高产能保持业界领先地位

  为了保持领先,台积电已经下单订购了至少13台ASML的Twinscan NXE EUV光刻机,将会在2021年全年交付,不过具体的交付和安装时间表尚不清楚。

  同时,明年台积电实际需求的数量可能是高达16到17台EUV光刻机。

  当然台积电不是唯一采购大量EUV光刻机的半导体制造商,现在三星为了争夺更多的半导体订单,正在扩大EUVL工艺在生产上的应用,三星半导体也提高了基于EUV工艺的DRAM的生产,这也将使三星会更多的采用Twinscan NXE光刻机。

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